JJF 2009-2022 半导体参数精密分析仪校准规范
标准编号：JJF 2009-2022
标准名称：半导体参数精密分析仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Semiconductor Parameters Precision Analyzers
发布日期：2022-12-07
实施日期：2023-06-07
归口单位：全国无线电计量技术委员会
起草人
徐迎春（中国电子技术标准化研究院）、刘冲（中国电子技术标准化研究院）、于利红（中国电子技术标准化研究院）、高英（中国计量科学研究院）、乔玉娥（中国电子科技集团公司第十三研究所）
起草单位
中国电子技术标准化研究院、中国计量科学研究院、中国电子科技集团公司第十三研究所
标准范围
本规范适用于电压测量范围士(0.1V ~ 3000V)、电流测量范围士(1pA ~ 1500A)的半导体参数精密分析仪的校准。