GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板

标准编号：GB/T 15871-1995

标准名称：硬面光掩模基板

英文名称：Hard surface photomask substrates

发布日期：1995-12-22

实施日期：1996-08-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

长沙韶光微电子总公司

标准范围

本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。

标准文档截图