GB/T 11446.4-1997 电子级水电阻率的测试方法

国家标准

标准编号:GB/T 11446.4-1997

标准名称:电子级水电阻率的测试方法

英文名称:Test methods for resistivity of electronic grade water

发布日期:1997-09-01

实施日期:1998-09-01

归口单位:工业和信息化部(电子)

执行单位:工业和信息化部(电子)

主管部门:工业和信息化部(电子)

起草人

起草单位

中国科学院半导体研究所

标准范围

本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。 本标准适用于测试电阻率为(0.5~18)MQ·cm(25℃)的电子级水。

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