GB/T 19199-2003 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

国家标准

标准编号：GB/T 19199-2003

标准名称：半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

英文名称：Test method for carbon concentration of semi-insulating monocrystal gallium arsenide by measurement infrared absorption method

发布日期：2003-06-16

实施日期：2004-01-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

中国电子科技集团公司第四十六研究所

本标准规定了非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于1．0×107 Ω·cm的非掺杂半绝缘砷化镓晶片中碳浓度的测定。可测定的最低碳浓度为4.0×1014 cm-3。