立即下载标准文件- GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法
- GB/T 6822-2007 船体防污防锈漆体系
- GB/T 8704.5-2007 钒铁 钒含量的测定 硫酸亚铁铵滴定法和电位滴定法
- GB/T 9279-2007 色漆和清漆 划痕试验
- GB/T 8704.6-2007 钒铁 硅含量的测定 硫酸脱水重量法
- GB/T 21143-2007 金属材料 准静态断裂韧度的统一试验方法
- GB/T 6753.1-2007 色漆、清漆和印刷油墨 研磨细度的测定
- GB/T 8050-2007 聚丙烯单丝或薄膜绳索特性
- GB/T 14370-2007 预应力筋用锚具、夹具和连接器
- GB/T 223.82-2007 钢铁 氢含量的测定 惰气脉冲熔融热导法
GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
标准编号：GB/T 4059-2007
标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
英文名称：Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
归口单位：中国有色金属工业协会
执行单位：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
起草人
起草单位
蛾眉半导体材料厂
标准范围
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。