GB/T 24469-2009 电子工业用气体 5N氯化氢

标准编号：GB/T 24469-2009

标准名称：电子工业用气体 5N氯化氢

英文名称：Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

发布日期：2009-10-15

实施日期：2009-12-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张吉瑞、孙福楠、刘筠

起草单位

北京华宇同方化工科技开发有限公司、信息产业部标准化四所、光明化工研究设计院

标准范围

本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。 本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。 氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)

标准文档截图