GB/T 14264-2009 半导体材料术语

标准编号：GB/T 14264-2009

标准名称：半导体材料术语

英文名称：Semiconductor materials-terms and definitions

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

孙燕、黄笑容、卢立延、郑琪、向磊、翟富义

起草单位

中国有色金属工业标准计量质量研究所、杭州海纳半导体有限公司、有研半导体材料股份有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等

标准范围

u3000u3000本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 u3000u3000本标准适用于元素和化合物半导体材料。

标准文档截图