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GB/T 5238-2009 锗单晶和锗单晶片
标准编号:GB/T 5238-2009
标准名称:锗单晶和锗单晶片
英文名称:Monocrystalline germanium and monocrystalline germanium slices
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-06-01
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草人
张莉萍、吴玉麟
起草单位
南京锗厂有限责任公司
标准范围
u3000u3000本标准规定了锗单晶和锗单晶片的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、订货单(或合同)内容。 u3000u3000本标准适用于制作半导体器件、激光、外延衬底等用的锗单晶和锗单晶片。