立即下载标准文件- GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
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GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
标准编号：GB/T 29852-2013
标准名称：光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
马农农、何友琴、冯亚彬、裴会川、王东雪、何秀坤
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司
标准范围
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。 u3000u3000 u3000u3000本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。