GB/T 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

国家标准

标准编号：GB/T 33922-2017

标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法

英文名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances

发布日期：2017-07-12

实施日期：2018-02-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

张威、程红兵、崔波、石云波、陈得民、李海斌、朱悦

北京大学、北京必创科技股份有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所

本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。

本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。