GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

国家标准

标准编号：GB/T 34504-2017

标准名称：蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

英文名称：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

发布日期：2017-10-14

实施日期：2018-05-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

康森、宋岩岩、於震杰、邵峰、沈瞿欢

天通控股股份有限公司

本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。

本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)~92(U）号（除去铝和氧），且面密度在10⁹atoms/cm²~10¹⁵atoms/cm²范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。