GB/T 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

标准编号：GB/T 34893-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

胡晓东、郭彤、程红兵、裘安萍、于振毅、李海斌、崔波、朱悦

起草单位

天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中机生产力促进中心、南京理工大学

标准范围

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。

本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。

标准文档截图