GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

国家标准

标准编号：GB/T 34972-2017

标准名称：电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-02-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

陈鹰、姜阳、傅铸红、杜汉盛、方华、常侠、周鹏云、牛艳东、江罗、许军洲

上海市计量测试技术研究院、高麦仪器公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元素测定范围见表1。

本标准适用的电子工业用气体种类:氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。

本标准适用的电子工业用气体取样状态:气态。