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GB/T 34898-2017 微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
标准编号：GB/T 34898-2017
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
英文名称：Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element
发布日期：2017-11-01
实施日期：2018-05-01
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草人
李庆丰、金小锋、程红兵、李海斌、朱悦
起草单位
北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心
标准范围
本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件（以下简称敏感元件）非线性振动特性参数的测试方法。
本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的测试，其他非MEMS敏感元件可参考使用。