GB/T 42674-2023 光学功能薄膜微结构厚度测试方法

国家标准

标准编号：GB/T 42674-2023

标准名称：光学功能薄膜微结构厚度测试方法

英文名称：Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness

发布日期：2023-08-06

实施日期：2024-03-01

归口单位：全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会

执行单位：全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会

主管部门：中国石油和化学工业联合会

起草人

夏江南、高建辉、田坤、韩明星、刘玉磊、刘文亮、赵建明、曹建、姜宁、赵朔、程媛、李宗、姚一凡、李文沾、周鹏、罗惠滨

中国乐凯集团有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、东莞市光志光电有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、凯鑫森（上海）功能性薄膜产业股份有限公司

本文件描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。

本文件适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。