GB/T 43748-2024 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

标准编号：GB/T 43748-2024

标准名称：微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

英文名称：Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

发布日期：2024-03-15

实施日期：2024-10-01

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

执行单位：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

伍超群、于洪宇、周鹏、邱杨、程鑫、乔明胜、陈文龙、黄晋华、汪青

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心、胜科纳米（苏州）股份有限公司、南方科技大学

标准范围

本文件规定了用透射电子显微镜／扫描透射电子显微镜（TEM/STEM）测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。

本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。

标准文档截图