JJF(沪) 59-2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范
标准编号：JJF(沪) 59-2018
标准名称：微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范
英文名称：Calibration Specification forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards
发布日期：2019-02-01
实施日期：2019-03-01
归口单位：上海市市场监督管理局
起草人
蔡潇雨(上海市计量测试技术研究院)、朱振宇(中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所)、张波(上海市计量测试技术研究院)、施玉书(中国计量科学研究院)、陈欣(上海交通大学)
起草单位
上海市计量测试技术研究院、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、中国计量科学研究院、上海交通大学
标准范围
本规范适用于高度在5nm到1000nm之间的微纳米台阶高度（深度）标准样板的校准，对于高度不超过6000nm的台阶高度（深度）标准样板可参照本规范执行。
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