T/ZZB 3749-2024 多级罗茨干式真空泵

团体标准

标准编号：T/ZZB 3749-2024

标准名称：多级罗茨干式真空泵

英文名称：Multi-stage roots dry pumps

发布日期：2024-07-05

实施日期：2024-08-05

团体名称：浙江省质量协会

起草人

陆学贵、李松波、卢冬雪、吴晓云、马明全、黄占超、宋涛、陈庆敏、侯大立、武涛

浙江博亚精密机械有限公司、安泊智汇半导体设备（上海）有限公司、无锡松煜科技有限公司、上海应用技术大学、上海工程技术大学

本文件规定了多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。

本文件适用于工作环境温度为5℃~35℃，除单级、双级以外的多级罗茨干式真空泵（以下简称泵）。