T/STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵

团体标准

标准编号：T/STIC 110096-2024

标准名称：半导体用多级罗茨干式真空泵

英文名称：Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor

发布日期：2024-01-01

实施日期：2024-01-01

团体名称：上海市检验检测认证协会

起草人

付娜、陈峰、彭申、曹雪妹、郑庆伟、吴俊峰、柯俊良、吴少坤、宋来富、张毅

上海汉钟精机股份有限公司、合肥通用机械研究院有限公司、昆山帕斯卡真空技术有限公司、上海华革真空技术有限公司、武汉凯芯通半导体技术有限公司、方圆标志认证集团上海有限公司、上海市检验检测认证协会

本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。