T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

团体标准

标准编号：T/CCGA 90004-2023

标准名称：泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法

英文名称：Protocol for measuring destruction or removal efficiency (DRE) of point-of-use abatement equipment in pan-semiconductor

发布日期：2023-12-18

实施日期：2024-01-18

团体名称：中国工业气体工业协会

起草人

朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉

埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会

本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。

本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。