GB/T 14851-2025 电子特气 磷化氢

标准编号：GB/T 14851-2025

标准名称：电子特气 磷化氢

英文名称：Electronic specialty gas—Phosphine

发布日期：2025-03-28

实施日期：2025-10-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

孙福楠、曾庆腾、王百林、曹素英、倪珊珊、万娟秀、孙猛、戴玺、孙建、施旖旎、陈洁、吴靓、杨康、唐中伟、姜阳、李春华、易达文、李阳、高静、赖晓峰、王科、熊壮、李东升、傅铸红、何经余、沙婷、朱明、王新喜、徐孝天、方强、赵趫、郑新权、方华、李扬、黄辉、施卫丰、宫兵、王大为、梁永强、梁成科、谭依玲、周鹏云

起草单位

西南化工研究设计院有限公司、上海正帆科技股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海市计量测试技术研究院、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、全椒南大光电材料有限公司、浙化省标准化研究院、宿州伊维特新材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、上海飞择科技有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司

标准范围

本文件规定了电子级磷化氢的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息。

本文件适用于亚磷酸热分解、磷化物水解并经提纯制备的电子级磷化氢。

标准文档截图