GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫

标准编号：GB/T 18867-2025

标准名称：电子气体 六氟化硫

英文名称：Electronic gas—Sulphur hexaflouride

发布日期：2025-04-25

实施日期：2025-11-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

陈兴龙、汤月贞、史婉君、钟卉菲、陈凯、史兰、张露露、陈艳珊、郭琼、孙福楠、方华、黄辉、王大为、李明、赵洁、唐念、唐峰、吴俊杰、赖晓峰、周鹏云、陈施华、林德荣、刘春花、李文、黄秀荣、张艳志、吕磊、谢世鹏、依俊廷、杜雨桐、杨金山、鲍光强、谈益强、尹乐乐、李丽、齐国栋、何波、唐中伟、唐霞梅

起草单位

昊华气体有限公司、浙江省化工研究院有限公司、上海上芃电气有限公司、南大光电（淄博）有限公司、广东华特气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、国网山东省电力公司电力科学研究院、国网湖南省电力有限公司电力科学研究院、西南化工研究设计院有限公司、福建德尔科技股份有限公司、福建永晶科技股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、广东电网有限责任公司电力科学研究院、深圳供电局有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司

标准范围

本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了六氟化硫的安全信息。

本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫。

标准文档截图