GB/T 26250-2025 电子气体 砷化氢

标准编号：GB/T 26250-2025

标准名称：电子气体 砷化氢

英文名称：Electronic gas—Arsine

发布日期：2025-04-25

实施日期：2025-11-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

马彬淇、马杰、孙建、叶凯、沈峰、史兰、吕磊、刘丹、赖晓峰、王见见、黄辉、李春华、王大为、李明、谈益强、尹乐乐、唐中伟、周鹏云、潘华杰、任如、乔洋、董建平、崔雯、赵赛迪、孙福楠、郭琼、依俊廷、杜雨桐、杨金山、鲍光强、常侠、牛迪、赵洁、何波、唐霞梅

起草单位

玉门大洋天庆石化有限责任公司、上海栎智半导体科技有限公司、上海亿钶气体股份有限公司、浙江省标准化研究院、福建恒申电子材料科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、联雄投资(上海)有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、全椒南大光电材料有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司

标准范围

本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了砷化氢的安全信息。

本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢。

标准文档截图