T/GVS 015-2024 远程等离子体源的解离率测试方法

标准编号：T/GVS 015-2024

标准名称：远程等离子体源的解离率测试方法

英文名称：Test method for dissociation rate of remote plasma source

发布日期：2024-10-10

实施日期：2024-10-10

团体名称：广东省真空学会

起草人

胡强、陈泽廷、郭晓东、杨振怀、黄星星、苏垦英、肖永能、郭远军、何斌、黎天韵、张清培、黄小婵、朱国俊、潘小刚、乐卫平、金名亮、刘涛、林桂浩、林伟群、何志军、张文杰、卫红

起草单位

季华实验室、江苏神州半导体科技有限公司、华南师范大学、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司

标准范围

本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。

本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60SLM、功率40kW以内远程等离子体源的解离率测试。