T/GVS 017-2024 连续式光学磁控溅射镀膜设备

标准编号：T/GVS 017-2024

标准名称：连续式光学磁控溅射镀膜设备

英文名称：Continuous optical magnetron sputtering coating equipment

发布日期：2024-12-24

实施日期：2024-12-24

团体名称：广东省真空学会

起草人

朱昆、李彬、曹祯烨、曹健辉、刘嘉静、杨锐、郑铭浩、周志宏

起草单位

广东省新兴激光等离子体技术研究院、等离子体装备科技（广州）有限公司、离子束（广州）装备科技有限公司、广州市尤特新材料有限公司

标准范围

本文件规定了连续式光学磁控溅射镀膜设备的术语和定义、组成、正常工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于连续式光学磁控溅射镀膜设备的研发、生产、检验和销售。