GB/T 45773-2025 表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则

标准编号：GB/T 45773-2025

标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱全扫描谱的准实时信息 含碳化合物表面污染的识别和校正规则

英文名称：Surface chemical analysis—Near real-time information from the X-ray photoelectron spectroscopy survey scan—Rules for identification of, and correction for, surface contamination by carbon-containing c

发布日期：2025-06-30

实施日期：2026-01-01

提出单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

批准发布部门：中国科学院

起草人

严楷、王舰、刘芬、许燕滨、高星星、姚文清、葛青亲

起草单位

广东工业大学、清华大学、赛默飞世尔科技（中国）有限公司、大连大学、中国科学院化学研究所

标准范围

本文件描述了对材料薄膜进行协助表面分析的方法，这些薄膜不含有碳化合物作为预期成分，但在全扫描谱中观察到C 1s峰。这些薄膜可通过有氧或电化学氧化在金属和合金上生成，也可沉积在惰性基底上的。所述程序不适用于在基底上颗粒的不连续沉积。除此之外，还提供了一个可从含碳的表面污染物中识别C 1s信号的简单程序。当C 1s峰被确定为来自于外来的覆盖层时，从全谱中得出的成分可针对其影响进行校正。建议的程序以“如果-则”格式的简单规则结构形式所提供，目的是让它们所包含的信息可被数据系统中的自动化程序所利用。所提供的规则仅利用从XPS全扫描（谱）中检索的信息。

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