GB/T 20175-2025 表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法

国家标准

标准编号：GB/T 20175-2025

标准名称：表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法

英文名称：Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials

发布日期：2025-06-30

实施日期：2026-01-01

提出单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

批准发布部门：中国科学院

起草人

李展平、郭冲、满瀚泽、孙令辉、马静怡、周凌、伏晓国、章宇娟、刘婕、徐建业、李芹、胡小康、陈建

清华大学、中国人民公安大学、中山大学、中国矿业大学（北京）、北京大学、中国工程物理研究院材料研究所

本文件提供了使用适当的单层和多层参考物质优化溅射深度分析参数的指导和要求，以便优化俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱中的仪器设置，实现最佳深度分辨。

本文件不涵盖特殊多层膜系（例如δ掺杂层）的使用。