GB/T 45770-2025 表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序

标准编号：GB/T 45770-2025

标准名称：表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序

英文名称：Surface chemical analysis—Atomic force microscopy—Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement

发布日期：2025-06-30

实施日期：2026-01-01

提出单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会

批准发布部门：中国科学院

起草人

沈轶、孙洁林、胡钧、李适、蔡潇雨、李源、马志超、王春梅

起草单位

上海交通大学、上海大学、吉林大学、上海市计量测试技术研究院、中国计量科学研究院、南京景曜智能科技有限公司

标准范围

本文件规定了用于表征AFM探针形状，特别是柄和近尖端轮廓的两种方法。这两种方法分别通过将AFM探针尖轮廓投影到指定平面上，或者在确定的操作条件下将探针柄的特征投影到该平面上来实现。其中，后一种方法可以给出探针用于狭窄沟槽和类似轮廓结构的深度测量时的有效性。本文件适用于半径大于5u0的探针，其中u0是用于表征探针的参考样品脊形结构宽度的不确定度。

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