T/QGCML 2307-2023 光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求

团体标准

标准编号：T/QGCML 2307-2023

标准名称：光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求

英文名称：Technical requirements for the production of low metal content tetramethoxymethyl glyurea for photoresist

发布日期：2023-11-24

实施日期：2023-12-12

团体名称：全国城市工业品贸易中心联合会

起草人

崔文华、白晓宇、张建成、张孝、胡向军、邢继武、安江辉、裴少琳、卫荣荣、陈嘉伟、曲军、尹渊、尹一航、白文英、蔚舒、王杨、张婕

太原科源达精细化工有限公司、太原化学工业集团有限公司、太原市埃斯维达化工科技有限公司

本文件规定了光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲生产技术要求的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。

本文件适用于光刻胶用低金属含量四甲氧甲基甘脲的生产和检验。