YS/T 983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法

标准编号：YS/T 983-2024

标准名称：硅多晶还原炉尾气成分的测定 气相色谱法

英文名称：Test method for measuring polysilicon reduction furnace exhaust gas composition-Gas chromatography

发布日期：2024-10-24

实施日期：2025-05-01

提出单位：全国有色金属标准化技术委员会

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

丁小海、韩成福、许保红、陈英春、邢成莉、岳峥、赵小飞、李寿琴、付国伟、赵娟龙

起草单位

亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海芯测科技有限公司、青海丽豪半导体材料有限公司、四川永祥股份有限公司、珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司、新疆戈恩斯能源科技有限公司

标准范围

本文件描述了气相色谱法测定硅多晶还原炉尾气中各成分的方法。

本文件适用于三氯氢硅法生产硅多晶还原炉尾气成分（氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅）的测定。检测下限体积分数为0.01%。

标准文档截图