T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范

团体标准

标准编号：T/GVS 014-2024

标准名称：半导体设备用低温泵评价规范

英文名称：Evaluation specification for cryogenic vacuum pumps used in semiconductor equipment

发布日期：2024-08-02

实施日期：2024-08-02

团体名称：广东省真空学会

起草人

胡湘娥、黎树中、李晓刚、叶俊文、王鹏程、胡勇、王楠茜、陈淑曲、余彦飞、肖永能、林涛、欧慧敏

中山凯旋真空科技股份有限公司、上海纳乇真空技术有限公司、中国科学技术大学、散裂中子源科学中心、中山市深中标准质量研究中心、佛仪科技（佛山）有限公司、佛山力合创新中心有限公司

本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。

本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。