T/CSES 122-2023 再生水利用 电子级水水源水质

标准编号：T/CSES 122-2023

标准名称：再生水利用 电子级水水源水质

英文名称：Guidelines for water reuse - Electronic Grade Ultrapure Water Source

发布日期：2023-12-20

实施日期：2023-12-20

团体名称：中国环境科学学会

起草人

胡洪营、田宇鸣、王文龙、吴乾元、熊江磊、巫寅虎、陈卓、黄南、茅帅龙、郭宇彬、刘伟、王宸、寇晓康、高月静、张力、张庆胜、金焱、王思亮、何志明、蔡晓涌、姜威、杨磊、孙青梅、王鹏、梁思懿

起草单位

清华大学、江苏中电创新环境科技有限公司、清华大学深圳国际研究生院、清华苏州环境创新研究院、中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏卓胜微电子股份有限公司、武汉京东方光电科技有限公司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、杭州科百特过滤器材有限公司、沃顿科技股份有限公司、佛山柯维光电股份有限公司、北京安力斯科技发展有限公司、天津中水有限公司、世源科技工程有限公司、中冶京诚工程技术有限公司

标准范围

本文件规定了用于电子级水水源的再生水分级及水质、处理、安全和检测要求。

本文件适用于作为电子级水水源的再生水，包括城镇污水处理厂出水、电子和半导体工业废水、显示面板工业废水经处理后满足相应要求的再生水。

标准文档截图