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GB/T 40344.4-2025 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵
标准编号:GB/T 40344.4-2025
标准名称:真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分:涡轮分子泵
英文名称:Vacuum technology—Standard methods for measuring vacuum-pump performance—Part 4: Turbomolecular vacuum pumps
发布日期:2025-08-01
实施日期:2025-11-01
提出单位:中国机械工业联合会
归口单位:全国真空技术标准化技术委员会
批准发布部门:中国机械工业联合会
起草人
李赏、张勤德、孙足来、宋青竹、李松波、成永军、王欢、邓高飞、白刚、郭传渠、王子圣、言继春、王国东、黄文平、王于祥、张宝夫、李光俊、赵子博、张浩、顾艳庆、吴晓云、孙雯君、罗守庚、王玲玲、李兵、宋海燕、乔忠路、陆学贵、赵澜、卢耀文、王浩为、李学勇、林刚直、闫昊、言文静、雷晓宏、黄乐、秦占阳、郁晋军、董欣、尹成科、尤志强、邹蒙、武涛、陈联、孙冬花
起草单位
北京中科科仪股份有限公司、沈阳汇真真空技术有限公司、兰州空间技术物理研究所、中科九微科技股份有限公司、宁波卓尔汽车零部件有限公司、中核第七研究设计院有限公司、北京通嘉宏瑞科技有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、马德宝真空设备集团有限公司、深圳市美格真空科技有限公司、苏州苏磁智能科技有限公司、沈阳真空技术研究所有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、北京东方计量测试研究所、深圳市贺盛真空科技有限公司、浙江伟航真空科技有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、安徽皖仪科技股份有限公司、中科光智(重庆)科技有限公司、合肥昱驰真空技术有限公司、宝鸡西工钛合金制品有限公司
标准范围
本文件及GB/T 40344.1描述了涡轮分子泵的性能测量方法,适用于所有规格和所有型式的涡轮分子泵。包括:带机械轴承或磁轴承的;带/不带附加牵引级或其他转子抽气级的;带一个或多个进气口的。
由于涡轮分子泵有前级泵支持,体积流率-入口压力的曲线不能完全确定涡轮分子泵的性能。同时,涡轮分子泵的驱动装置和前级压力均影响其性能参数。
下列内容用以补充确定其性能参数:涡轮分子泵的流量和前级压力;压缩比曲线(涡轮分子泵的压缩比-前级压力)。