T/CSCP 0059.4-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第4部分：元器件选型及测试

团体标准

标准编号：T/CSCP 0059.4-2025

标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器第4部分：元器件选型及测试

英文名称：Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chip and sensor—Part 4: Component selecting and testing

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

团体名称：中国腐蚀与防护学会

起草人

杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路遥、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、韩钰、马宏驰

北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司

本文件规定了微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，以下简称 MEMS）材料腐蚀芯片及传感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。

本文件适用于MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测试。