GB/T 20726-2025 微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法

标准编号：GB/T 20726-2025

标准名称：微束分析 扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）用X射线能谱仪（EDS）主要性能参数及核查方法

英文名称：Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or a

发布日期：2025-08-29

实施日期：2026-03-01

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

毛骞、范光、原江燕、王岩华、曾荣树

起草单位

中国科学院地质与地球物理研究所、中国科学院化学研究所、核工业北京地质研究院

标准范围

本文件规定了以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪最重要的特性参数。

本文件仅适用于使用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。

本文件规定了与扫描电子显微镜(SEM)或电子探针显微分析仪(EPMA)联用的此类能谱仪性能参数的最低要求及核查方法。用于能谱分析的程序，已由ISO 22309和ASTM E1508规范，不在本文件范围之内。

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