GB/T 46227-2025 半导体单晶材料透过率测试方法

标准编号：GB/T 46227-2025

标准名称：半导体单晶材料透过率测试方法

英文名称：Test method for transmittance of semiconductor single crystal materials

发布日期：2025-08-29

实施日期：2026-03-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

李静、何烜坤、齐海涛、索开南、齐兴旺、欧琳芳、李明达、王阳、朱晓彤、张红岩、匡子登、夏宁、边仿、孙毅、李素青、许蓉、胡伟、王英明、郝文娟、孙雪峰、王银海、夏秋良、丁雄杰、佘宗静、沈益军、吴杰、李欢欢

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、江苏第三代半导体研究院有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、安徽光智科技有限公司、广东先导微电子科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、山东有研半导体材料有限公司、广东天域半导体股份有限公司、云南驰宏国际锗业有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、昆山海菲曼科技集团股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、松山湖材料实验室、有研国晶辉新材料有限公司、天通银厦新材料有限公司、中电晶华（天津）半导体材料有限公司、南京盛鑫半导体材料有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、杭州镓仁半导体有限公司、甬江实验室微谱（浙江）技术服务有限公司、河南中宜创芯发展有限公司

标准范围

本文件描述了半导体单晶材料在波长0.2μm ~ 300μm范围内透过率的测量方法。

本文件适用于硅、锗、磷化铟、硒化镉、硫化镉、碳化硅、氮化镓、氧化镓、蓝宝石、金刚石等半导体单晶材料透过率的测定。

标准文档截图