GB/T 28159-2025 电子级磷酸

标准编号：GB/T 28159-2025

标准名称：电子级磷酸

英文名称：Electronic grade phosphoric acid

发布日期：2025-08-29

实施日期：2026-03-01

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：国家标准委

起草人

曹可慰、李少平、姜飞、陈惠云、李祥庆、苏守进、胡国涛、贾成林、张淑娟、王琴、雷惠宪、李全东、黄如林、张永萍、王洪华、史泽远、赵俊莎、顾玲燕、吴怡然、聂新宇、张宝帅、陈伟、徐海圣、姚莎、李万清、叶瑞、贺兆波、黄俊群、钱森林

起草单位

中国电子技术标准化研究院、贵州磷化（集团）有限责任公司、江苏美阳电子材料有限公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、广西川金诺化工有限公司、云南省化工产品质量监督检验站、湖北三宁化工股份有限公司、眉山胜科电子化学有限公司、湖北兴福电子材料股份有限公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、天富（江苏）科技有限公司、信联电子材料科技股份有限公司、江苏澄星磷化工股份有限公司、联仕新材料（苏州)股份有限公司、广西钦州志诚化工有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司

标准范围

本文件规定了电子级磷酸的要求、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、安全等，并描述了相应的试验方法。

本文件适用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸。

标准文档截图