ISO 14644-8:2006 洁净室和相关控制环境 第8部分：空气分子污染分类

标准编号：ISO 14644-8:2006

中文名称：洁净室和相关控制环境 第8部分：空气分子污染分类

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of airborne molecular contamination

发布日期：2006-08

标准范围

ISO 14644-8:20 06涵盖了洁净室和相关受控环境中特定化学物质（单个、组或类别）的空气传播浓度的空气传播分子污染（AMC）的分类，并提供了一个方案，包括分类规范中的测试方法、分析和时间加权因子。ISO 14644-8:20 06目前只考虑浓度在100到10之间的AMC？在洁净室操作条件下为12 g/m3。ISO 14644-8:20 06不适用于那些不认为空气传播的分子物质对产品或工艺构成风险的行业、工艺或生产。ISO 14644-8:20 06无意描述空气传播的分子污染物的性质。ISO 14644-8:20 06没有给出表面分子污染的分类。

标准预览图