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ISO/TS 21383:2021 微束分析 扫描电子显微镜 定量测量用扫描电子显微镜的鉴定
标准编号：ISO/TS 21383:2021
中文名称：微束分析 扫描电子显微镜 定量测量用扫描电子显微镜的鉴定
英文名称：Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
发布日期：2021-03
标准范围
本文件描述了使用数字成像系统对扫描电子显微镜进行定量和定性SEM测量的方法，通过评估必要的扫描电子显微镜性能参数，在安装仪器后保持性能。性能参数的项目和评估方法由用户自行选择。
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