ISO 22489:2016 微光束分析 电子探针微量分析 使用X射线波长色散光谱法对大试样进行定量点分析

标准编号：ISO 22489:2016

中文名称：微光束分析 电子探针微量分析 使用X射线波长色散光谱法对大试样进行定量点分析

英文名称：Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Quantitative point analysis for bulk specimens using wavelength dispersive X-ray spectroscopy

发布日期：2016-10

标准范围

ISO 22489:2016规定了通过使用安装在电子探针微分析仪或扫描电子显微镜（SEM）上的波长色散光谱仪（WDS）分析电子束产生的X射线来确定的试样微米体积中元素的量化要求。ISO 22489:2016还描述了以下内容:-定量分析的原理；-该技术在元素、质量分数和参考样品方面的总体覆盖范围；-仪器的一般要求；-涉及的基本程序，如样品制备、实验条件选择、测量、分析和报告。ISO 22489:2016旨在使用正入射光束对扁平均匀的块状试样进行定量分析。它没有规定仪器或数据简化软件的详细要求。操作员应从所用产品的制造商处获取安装条件、详细操作程序和仪器规格等信息。

标准预览图