ISO 22309:2006 微光束分析-采用能谱仪（EDS）的定量分析

标准编号：ISO 22309:2006

中文名称：微光束分析-采用能谱仪（EDS）的定量分析

英文名称：Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS)

发布日期：2006-04

标准范围

ISO 22309:2006给出了使用安装在扫描电子显微镜（SEM）或电子探针微量分析仪（EPMA）上的能量色散光谱法（EDS）对样本特定点或区域进行定量分析的指南；任何数量的表达，即以百分比（质量分数）表示的大/小或大/小量被认为是定量的。样本中所有元素的正确识别是定量分析的必要部分，因此ISO 22309:2006中考虑了这一点。ISO 22309:2006提供了各种方法的指南，适用于使用参考材料或无标准程序对质量分数低至1%的常规定量分析。它可用于原子序数Z大于10的元素。还提供了Z小于11的轻元素分析指南。

标准预览图