ISO 5302:2003 真空技术-涡轮分子泵-性能特性测定

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 5302:2003

中文名称:真空技术-涡轮分子泵-性能特性测定

英文名称:Vacuum technology — Turbomolecular pumps — Measurement of performance characteristics

发布日期:2003-07

标准范围

ISO 5302:2003规定了涡轮分子泵性能特性的测量方法。它适用于所有尺寸和所有类型的涡轮分子泵,带有机械或磁性轴承,以及带有或不带有附加阻力级。

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