ISO 16531:2020 表面化学分析 深度剖面 在AES和XPS中用于深度剖面的离子束排列和相关的电流或电流密度测量方法

标准编号：ISO 16531:2020

中文名称：表面化学分析 深度剖面 在AES和XPS中用于深度剖面的离子束排列和相关的电流或电流密度测量方法

英文名称：Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

发布日期：2020-10

标准范围

本文件规定了离子束对准的方法，以确保在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子时，溅射深度剖面的良好深度分辨率和表面的最佳清洁。这些方法有两种:一种是用法拉第杯测量离子电流；另一个涉及成像方法。法拉第杯法还规定了离子束中电流密度和电流分布的测量。这些方法适用于带有光斑直径小于或等于1 mm光束的离子枪。这些方法不包括深度分辨率优化。

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