ISO 14644-6:2007 清洁室及相关受控环境 第6部分:词汇

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 14644-6:2007

中文名称:清洁室及相关受控环境 第6部分:词汇

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary

发布日期:2007-07

标准范围

ISO 14644-6:2007建立了与洁净室和相关受控环境相关的术语和定义词汇表。

标准预览图

下载信息


下载该资料,将扣除 50 个积分

立即下载标准文件

大家都在看