ISO 5820:2024 微束分析 超维数据文件规范（HMSA）

标准编号：ISO 5820:2024

中文名称：微束分析 超维数据文件规范（HMSA）

英文名称：Microbeam analysis — Hyper-dimensional data file specification (HMSA)

发布日期：2024-02

标准范围

MSA/MAS/AMAS超维数据文件规范（简称HMSA）是一种独立于平台的数据格式，允许在不同软件应用程序之间交换超维显微镜和微量分析数据。应用包括但不限于:—？高光谱图，如电子能量损失光谱（EELS）、能量色散x射线光谱（XEDS）或阴极发光光谱（CL）。—？“超图像”图，例如使用电子背散射衍射(EBSD)或会聚束电子束衍射(CBED)的图案图。—？3维图，如共焦显微镜或聚焦离子束(FIB)连续切片图。—？4维地图，如双倾斜电子断层扫描。—？时间分辨显微镜和光谱学。除了存储超-尺寸数据，HMSA文件格式适用于存储常规显微镜和微量分析数据，如光谱、线轮廓、图像和定量分析，以及实验条件和其他元数据。

标准预览图