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ISO 24688:2022 低角度X射线法测定纳米多层膜的调制周期
标准编号：ISO 24688:2022
中文名称：低角度X射线法测定纳米多层膜的调制周期
英文名称：Determination of modulation period of nano-multilayer coatings by low-angle X-ray methods
发布日期：2022-07
标准范围
本文件规定了采用低角度X射线法（包括X射线）对纳米多层涂层进行基材条件和调制周期的测试（包括低角度X光方法的原理、涂层的要求、X射线测量仪器的要求、仪器和样品的校准、测试条件和计算过程）反射率（XRR）和掠入射X射线衍射（GIXRD）。
标准预览图
