ISO 29301:2017 微束分析 分析透射电子显微镜 使用具有周期性结构的标准材料的图像放大校准法

国际标准(ISO)

标准编号:ISO 29301:2017

中文名称:微束分析 分析透射电子显微镜 使用具有周期性结构的标准材料的图像放大校准法

英文名称:Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Methods for calibrating image magnification by using reference materials with periodic structures

发布日期:2017-12

标准范围

ISO 29301:2017规定了适用于透射电子显微镜(TEM)中宽放大范围内记录的图像的校准程序。用于校准的标准物质具有周期性结构,例如衍射光栅复制品、半导体的超晶格结构或用于X射线分析的分析晶体,以及碳、金或硅的晶格图像。本文件适用于记录在照相胶片或成像板上的TEM图像的放大,或由内置在数码相机中的图像传感器检测的TEM图像的放大。本文件还涉及比例尺的校准。本文件不适用于专用临界尺寸测量TEM(CD-TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM)。

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