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ISO 21859:2019 精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷） 半导体制造设备中陶瓷元件等离子体电阻的试验方法
标准编号：ISO 21859:2019
中文名称：精细陶瓷（高级陶瓷、高级工业陶瓷） 半导体制造设备中陶瓷元件等离子体电阻的试验方法
英文名称：Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
发布日期：2019-06
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