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ISO 14644-16:2019 清洁室及相关受控环境 第16部分:洁净室和隔离设备的能源效率
标准编号:ISO 14644-16:2019
中文名称:清洁室及相关受控环境 第16部分:洁净室和隔离设备的能源效率
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments — Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices
发布日期:2019-05
标准范围
本文件为优化新的和现有的洁净室、洁净区和分离装置的能源使用和保持能源效率提供了指导和建议。为洁净室的设计、施工、调试和运行提供了指导。该文件涵盖了洁净室的所有特定功能,可用于不同领域,以优化电子、航空航天、核能、制药、医院、医疗器械、食品行业和其他清洁空气应用中的能源使用。它还引入了用于洁净室能效性能评估和比较的基准概念,同时保持性能水平符合ISO 14644要求[2][3]。
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