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ISO/TS 25138:2010 表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
标准编号:ISO/TS 25138:2010
中文名称:表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
英文名称:Surface chemical analysis — Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical-emission spectrometry
发布日期:2010-12
标准范围
ISO/TS 25138:2010描述了一种辉光放电光发射光谱测定法,用于测定金属氧化物薄膜的厚度、单位面积质量和化学成分。该方法适用于金属表面1 nm至10 000 nm厚的氧化膜。氧化物中的金属元素可包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。可通过该方法测定的其他元素为O、C、N、H、P和S。
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